De tweedehandswinkel van ASML. Het is wat kort door de bocht maar dat is in essentie wel wat de businessunit Mature Products and Services is. Deze unit koopt oude lithografiemachines in en haalt ze volledig uit elkaar. Alles wordt getest, gerepareerd, gereviseerd of vervangen. Veelal met hulp van de oorspronkelijke toeleveranciers. Als de – voornamelijk – PAS 5500’s de fabriek dan weer verlaten, kunnen ze weer heel wat jaren mee. De markt zit te springen om die gereviseerde systemen. ‘We kunnen drie keer meer verkopen dan we in ons orderboek hebben staan.’
‘Na dertig jaar gebruik zit er heel wat scar tissue op zo’n apparaat’, aldus Erwin de Jong over de PAS 5500’s die ASML Mature Products and Services terugkoopt voor refurbishments. Foto’s: ASML
– ‘De belangrijkste limiterende factor is het aantal machines dat in de verkoop komt.’
– ‘De prijs waarop we de gerefurbishte systemen terug in de markt zetten, is cruciaal.’
– Binnengekomen occasions doorlopen eerst een hele serie testprocedures.
– ’Repareren is nu eenmaal goedkoper dan vervangen of redesignen, en het is nog groener ook.’
Flight Forum Eindhoven, Gebouw 21. Het is een paar kilometer verwijderd van de grote campus in Veldhoven, maar er staat toch echt ‘ASML’ op de gevel. De businessunit van de lithografiegrootmacht die hier kantoor houdt, is een vreemde eend in de bijt. ‘Voor de buitenwereld zijn we nauwelijks bekend, maar ook intern denk ik dat we lang niet bij iedereen op de radar staan’, glimlacht Erwin de Jong. De groep die hij onder zijn hoede heeft, heeft toch wel degelijk een jaaromzet van zo’n 500 miljoen euro. ‘En de komende jaren verwachten we richting 1 miljard euro te gaan.’
De Jong is manager van ASML Mature Products and Services, oneerbiedig gezegd de afdeling voor tweedehandsjes van de Brabantse oem’er. ‘Bij MPS kopen we onze oudere systemen terug, repareren en refurbishen we ze, en zetten we ze weer in de markt’, verduidelijkt De Jong. Er is veel vraag naar dat soort opgeknapte machines. ‘We kunnen drie keer meer verkopen dan we in ons orderboek hebben staan. De belangrijkste limiterende factor is natuurlijk het aantal machines dat in de verkoop komt.’
De Jong schat dat ongeveer 30 procent van de wereldwijde halfgeleiderindustrie – in 2030 een welhaast onvoorstelbaar grote markt van 1 biljoen dollar – draait om dit soort oudere lithotechnologie. ‘Dan heb ik het over chipresoluties tot 0,28 micrometer. Die zie je terug in onder meer volwassen logic en analoge IC’s, sensoren en vermogenselektronica. Door de elektrificatie van auto’s is er heel veel vraag naar chips op basis van silicon carbide. Ook die maak je met een mature lithografietechnologie.’
90 procent nog operationeel
Waar de bekendste en duurste machines van ASML maar voor een handjevol chipgiganten worden gemaakt, heeft MPS een veel breder palet aan klanten. ‘Ongeveer 150’, schat De Jong. ‘Denk aan partijen zoals ST, NXP, Silex of Infineon.’ Dat andere publiek vraagt ook om een totaal andere marktbenadering. Bij de reguliere ASML-business staan technologisch leiderschap en steeds verdere miniaturisering boven aan de prioriteitenlijst, maar MPS moet vooral ook heel scherp op de kosten letten. In dit segment concurreert ASML namelijk wel volle bak met bijvoorbeeld Canon en Nikon die er ook zwaar op inzetten. ‘De prijs waarop we de gerefurbishte systemen terug in de markt zetten, is cruciaal.’
De corebusiness van MPS bestaat uit ASML’s PAS 5500-systemen, de lithografiemachines waarmee dit bedrijf in de jaren negentig zijn eerste grote successen boekte. ‘We hebben daar uiteindelijk zo’n 1.800 exemplaren van verkocht’, weet De Jong. Ruim 90 procent van alle machines die ooit de Veldhovense fabriek uitrolden, is nog altijd in gebruik. ‘En we weten precies waar ze staan.’
Cowboys en muizen
Dat wil niet zeggen dat alle afgedankte machines ook automatisch de weg naar Zuidoost-Brabant weten terug te vinden. ‘Zo staan er zes systemen ergens in een loods in China. We zijn al heel lang in onderhandeling om ze terug te kopen. Ze staan er echt stof te happen, maar de eigenaar wil er toch niet vanaf’, vertelt De Jong, die geen idee heeft waarom. Ook in Brazilië viste MPS recentelijk achter het net. ‘Na een faillissement kwamen er vijf PAS-systemen vrij. Uiteindelijk is een andere koper ermee vandoor gegaan voor een bedrag dat volgens ons ruim boven de daadwerkelijke waarde lag. Er zijn in deze markt zeker bonafide brokers, maar je hebt ook cowboys’, heeft De Jong inmiddels ervaren.
Af en toe moet ASML MPS ook van een deal weglopen, zoals tijdens de coronajaren toen de prijzen de pan uitrezen omdat fabrikanten schreeuwden om extra capaciteit. Voor de machines die wel naar hun geboorteplaats terugkeren, weet MPS heel aardig wat het binnenkrijgt. ‘We hebben een goede database van alle systemen die we in het verleden hebben uitgeleverd, maar sturen toch ook altijd iemand erheen om ze visueel te inspecteren. In het meest extreme geval staan ze ergens in de kelder en is het een grote bende. We hebben zelfs een keer meegemaakt dat er muizen in woonden’, lacht hij. ‘Gelukkig staan de meeste nog wel in een cleanroom van een sub-fab.’
Als de gereviseerde lithosystemen de shop weer verlaten, voldoen ze weer helemaal aan de specs uit de jaren negentig, met vaak nog wat bonusfeatures erbij.
Scar tissue
Hoeveel de restwaarde precies is, kan MPS pas goed beoordelen als de machines in de werkplaats op het Flight Forum terug zijn. ‘Na dertig jaar zit er natuurlijk heel wat scar tissue op zo’n apparaat’, aldus De Jong. Binnengekomen occasions doorlopen daarom eerst een hele serie testprocedures. ‘Het frame is meestal nog goed en herbruikbaar. Ook van de elektronica kunnen we vaak nog veel hergebruiken. Maar veel moet worden vervangen, sowieso nagenoeg alle wear and tear onderdelen, zoals de stages, kabels en sensoren.’
Centraal in de lithografiemachines is de optiek. Die gaat terug naar leverancier Zeiss. ‘Daar in Oberkochen gaat alles ook door een refurbishment loop. Alle lenselementen worden nauwkeurig bekeken en alles wat niet meer te gebruiken of te repareren is, wordt vervangen.’ ASML heeft een continuïteitsovereenkomst met Zeiss over ondersteuning voor lensoplossingen van oudere systemen. ‘Die loopt op dit moment nog tot 2030, maar we zijn in overleg om te kijken of we dat niet moeten verlengen naar 2040.’
Niet meer verkrijgbaar
Ook blijkt regelmatig dat er tijdens al die jaren in het veld onderdelen of modules zijn opgeschroefd, soms zelfs van een concurrent. Een belangrijk deel van die uitbreidingen en werkzaamheden komt op het conto van EO Technical Solutions, een Amerikaans repair house uit Vancouver (Washington), dat zich heeft toegelegd op reparaties aan de PAS 5500. Net voor de zomer heeft ASML dat 22-koppige bedrijf overgenomen. ‘Repareren is nu eenmaal goedkoper dan vervangen of redesignen, en het is nog groener ook’, legt De Jong uit. ‘De acquisitie betekent dat we minder hoeven te investeren om de machines weer op de rit te krijgen.’
Uiteraard kan niet alles worden gerepareerd, en dat stelt MPS voor een andere uitdaging. Componenten die dertig jaar geleden in het systeem zijn gezet, zijn heel vaak niet meer verkrijgbaar. De veertig ontwikkelaars die De Jong beschikbaar heeft, zijn dan ook vooral bezig met obsolescence engineering. ‘Hoe kunnen we het oplossen als onderdelen niet meer te koop zijn? Wat is een goed alternatief?’ Die exercitie biedt gelijk de mogelijkheid om verbeteringen door te voeren. Zo draaide het wafer handling rack oorspronkelijk op veertien elektronicaborden. In samenwerking met de leverancier van destijds – De Jong wil de naam niet prijsgeven maar het gaat ongetwijfeld over VDL ETG – heeft ASML MPS dat via een redesign teruggebracht naar vijf.
Kennis verdwenen
Die operatie was onderdeel van het PAS 2030-programma dat ASML in 2018 lanceerde om de servicehorizon van zijn PAS-systemen te verleggen. Een investering van 60 miljoen euro, waarbij het ook veel van zijn toeleveranciers heeft betrokken. Uiteraard Zeiss, maar tevens de nodige ‘usual suspects’ in de regio, aldus De Jong. ‘We doen dat via farm-outprojecten. Dan definiëren we de specs die we nodig hebben en zeggen: “Gaarne maken.”‘
Een van de uitdagingen daarbij is de beperkte capaciteit in de keten. ‘Je moet soms redelijk sterk in je schoenen staan om je plekje aan tafel te veroveren’, heeft De Jong gemerkt. ‘Want waarom zouden ze bij personeelsgebrek ons project op zich nemen terwijl ze ook aan een High-NA-machine kunnen toeleveren, wat een veel beter margeprofiel heeft? Nu de markt weer wat rustiger wordt, gaat het gelukkig meestal goed.’
Ook lastig is dat de kennis bij toeleveranciers soms is verdwenen. De Jong geeft een sprekend voorbeeld: ‘Met een speciale lijm moest een leverancier magneten plakken op een bepaald deel van de machine, maar ze bleven er maar vanaf vallen. We kwamen er niet achter wat het probleem was, dus werd er gebeld met de engineer van toen die inmiddels met pensioen was. Hij wist direct wat er aan de hand was. In de procedure stond beschreven dat de lijm ijskoud moest zijn, dus hadden de huidige engineers de lijm vooraf netjes in de ijskast gezet. Maar die man had proefondervindelijk vastgesteld dat de lijm juist alleen werkte bij kamertemperatuur en had het gewoon altijd zo gedaan. Iedereen blij, alleen de procedure was nooit officieel aangepast.’
De talkshow gaat vooraf aan de uitreikingen van de drie Dutch Industrial Suppliers and Customer Awards (DISCA). Na de borrel vindt tijdens het diner de live finale plaats van de Dutch Industrial Suppliers and Customer Awards 2023. Programma
Aanmelden disca@linkmagazine.nl
Goed te overzien
Het borgen van kennis is ook intern bij MPS een aandachtspunt. Een belangrijk deel van het 350 man sterke team is opgegroeid met de PAS 5500 of stond zelfs aan de basis. ‘Het is hun baby; ze weten er alles van. Die kun je zo naar een kapotte machine in bijvoorbeeld Singapore sturen en ze zien gelijk welk systeem het is en hebben het zo weer aan de gang. Maar al die kennis staat nergens opgeschreven, dus zijn we een programma gestart om te voorkomen dat we dat allemaal kwijt zijn als die mannen straks met pensioen gaan.’
Een ander deel van MPS zijn juist de jonge honden. ‘Zij willen impact hebben, in kleiner verband. Bij het grote ASML kun je natuurlijk ook impact hebben, maar je blijft vaak een klein radertje in een enorme machine. Bij MPS gaat het allemaal wat sneller en staat er wat minder op het spel. Want als je een verkeerde spiegel in een EUV-machine schroeft, heb je een groot probleem. Bij de PAS is het allemaal nog wel te overzien. We kunnen makkelijker en sneller zelf beslissen om wijzigingen door te voeren.’ Het groene aspect van machinerefurbishments zal deze groep toch ook aanspreken? ‘Zeker’, antwoordt De Jong. ‘We deden dit al voordat het gaaf was. We waren circulair avant la lettre.’
Extra features
Zoals gezegd, richt MPS zich – sinds de start in 2012 – vooral op PAS 5500’s, waarmee het 300 miljoen euro omzet. De afgelopen jaren heeft de divisie allerlei extra features ontwikkeld die passen bij de lithografie-uitdagingen in de markten die de PAS nu gebruiken. ‘Het gaat in die mature segmenten niet om shrinkage, maar ze hebben bijvoorbeeld een oplossing nodig om beter te kunnen omgaan met wafers die een klein beetje krom zijn.’ MEMS zijn een ander goed voorbeeld. Fabrikanten van die systeempjes willen kunnen uitlijnen via de achterkant van de wafer. ‘Daar hebben we dus een feature voor ontwikkeld.’
Wat dat betreft, lopen gereviseerde PAS 5500’s voor op de XT’s. Die koopt MPS inmiddels ook terug voor een refurbishmentcyclus. ‘We krijgen die steeds vaker aangeboden. Ook Twinscan NXT’s komen inmiddels beschikbaar, dus die gaan we eveneens inkopen.’ De revisie van de XT’s en NXT’s gebeurt overigens wel op de grote ASML-campus in Veldhoven. ‘En wie weet, gaan we ooit ook EUV-machines refurbishen.’
