Lam Research heeft vandaag de lancering aangekondigd van een volledig getransformeerde plasma-etch technologie en systeemoplossing, ontworpen om chipmakers te voorzien van geavanceerde functionaliteit en uitbreidbaarheid die vereist is voor toekomstige innovatie. Lam’s baanbrekende Sense.i ™ -platform biedt ongeëvenaarde systeemintelligentie in een compacte architectuur met hoge dichtheid om procesprestaties te leveren met de hoogste productiviteit, en ondersteunt roadmap voor logica en geheugenapparaten gedurende het komende decennium.
Met de kerntechnologie die is geëvolueerd uit Lam’s toonaangevende Kiyo®- en Flex®-procesmodules, maakt het Sense.i-platform de kritische etch mogelijkheden die nodig zijn om de uniformiteit en etch profielcontrole te blijven verbeteren voor een maximale opbrengst en lagere waferkosten. Naarmate de afmetingen kleiner worden en de beeldverhoudingen toenemen, is het Sense.i-platform ontworpen om toekomstige technologische verbuigingen te ondersteunen.
Aangedreven door Lam’s Equipment Intelligence®-technologie, stelt het zelfbewuste Sense.i-platform halfgeleiderfabrikanten in staat gegevens vast te leggen en te analyseren, patronen en trends te identificeren en acties voor verbetering te specificeren. Sense.i beschikt ook over autonome kalibratie- en onderhoudsmogelijkheden die downtime en arbeidskosten verminderen, en levert algoritmen voor machine learning waarmee de tool zichzelf kan aanpassen om procesvariaties te minimaliseren en de output van de wafer te maximaliseren.
Het Sense.i-platform heeft een revolutionaire ruimtebesparende architectuur die klanten zal helpen hun toekomstige streefdoelen voor wafer-output te halen door een verbetering van meer dan 50% in de output-dichtheid van de etch Terwijl halfgeleiderfabrikanten slimmere, snellere en dichtere chips ontwikkelen, groeien processen snel in complexiteit en aantal stappen. Dit vereist een groter aantal proceskamers in een fab en vermindert de totale output voor een gegeven vloeroppervlak. De kleinere voetafdruk van het Sense.i-platform komt ten goede aan een nieuwe fab-build of een fab-technologie die een conversie van node-to-node technology conversion.
“Lam introduceert het meest innovatieve etch product dat de afgelopen 20 jaar is ontwikkeld”, zegt Vahid Vahedi, senior vice-president en algemeen directeur van de Etch-productgroep bij Lam Research. “Sense.i breidt onze roadmap voor technologie uit om te voldoen aan de eisen van de volgende generatie van onze klanten en tegelijkertijd de cruciale uitdagingen op het gebied van kostenschaling op te lossen waarmee ze in hun bedrijf worden geconfronteerd. Met meer dan vier miljoen wafers die elke maand op Lam-etchystemen worden verwerkt, beschikt Lam over een geïnstalleerde basis die buitengewoon veel leert om te innoveren, ontwerpen en de beste gereedschappen voor halfgeleiderproductie te produceren. ”
