Begin 2020 was Tempress, oem’er van depositie- en diffusieovens, nog helemaal gericht op de solar. Die markt gebruikte de apparatuur om wafers van een elektrisch geleidende laag te voorzien, in zeer hoge volumes, tot wel 9.000 stuks per uur. Maar de solar was ook een markt die – met steun van de overheid aldaar – vrijwel geheel in Chinese handen terecht was gekomen, verhaalt Pieter de Groot, directeur van Tempress. Dus was het, toen hij in maart 2020 aantrad, hoog tijd voor een radicale switch van markt, van de solar naar de semicon. ‘We hebben een reorganisatie doorgevoerd om deze transitie in gang te zetten. We hadden al een bescheiden positie in de semicon en dat gaf ons voldoende basis om die positie snel uit te breiden.’ Moest het bedrijf uit Vaassen in 2020 nog zo’n 15 mensen laten gaan, inmiddels heeft het al weer 20 mensen aangetrokken.
VS Series, een verticale oven
Tempress heeft een lange geschiedenis die begint bij de behoefte van Philips aan diffusieovens voor de halfgeleiderfabrieken die het in de jaren negentig in Nederland en elders in Europa bouwde. Daaruit ontstonden onder meer ASMI en Tempress. Door een dip in de semiconmarkt ging Tempress in 1994 failliet. De doorstart richtten zich op horizontale ovens. De markt daarvoor brak open in 2006 door de toepassing in zonnecelfabrieken. In de toptijd produceerde het bedrijf meer dan 300 ovens per jaar. Maar nadat China besloot ze zelf (na) te gaan maken, droogde die markt snel op. Er is nog geprobeerd, eind jaren tien, een eigen ovenfabriek in de omgeving van Shanghai tot wasdom te krijgen. ‘Maar die markt was toen reeds verzadigd’, weet De Groot.
Link magazine editie februari/maart 2023 | jaargang 25 thema: Volle buffers en toch tekorten. Lees Link digitaal of vraag een exemplaar op: mireille.vanginkel@linkmagazine.nl
Daarom was een andere focus nodig. Gekozen werd dus voor een terugkeer in de semiconindustrie. Tempress ontwikkelt en maakt tegenwoordig ovens voor de productie van onder meer silicium carbide chips. Die chips zijn met name nodig voor de elektrificatie van de samenleving. ‘Denk aan de powerelektronica, de technologie voor het laden van elektrische auto’s. Dat is de echte groeimarkt voor ons. Daarnaast leveren we aan de universitaire onderzoekslaboratoria waar – vaak door start-ups en scale-ups – op kleine schaal low loss nitride mems-chips voor de fotonica-markt worden geproduceerd. Zoals Lionix dat doet in het laboratorium van MESA+ op de campus van de Universiteit Twente in Enschede. De fotonica is een potentiële groeimarkt.’
Ook voor deze markten gaat het om ovens waarin druk en hoge temperatuur ervoor zorgen dat geleidende of juist isolerende stoffen, opgelost in gassen of plasma’s, in het materiaal van wafers trekken of er in een dunne laag op gedeponeerd worden. Maar de volumes en de kosten per wafers zijn van een compleet andere orde. ‘Ging het in de solar om duizenden wafers per uur die per stuk niet meer dan een paar cent mochten kosten, nu zitten we in een markt waar één wafer tienduizenden euro’s kost. Tempress was een bedrijf dat, vanwege de wensen in de solarindustrie, sterk gericht was op het ontwikkelen en produceren van ovens met zo laag mogelijke kosten. Drie jaar geleden dacht iedereen hier dus nog in kosten. In de semicon echter draait het om maximale kwaliteit. Die andere manier van denken heeft veel aandacht gekregen gedurende de grote move die we de afgelopen paar jaar hebben gemaakt. Maar, omdat we dus al eerder voor de semicon werkten, zat het ook nog ergens in ons DNA. Dat scheelde.’
Momenteel produceert Tempress tientallen systemen per jaar. Nieuw is de VS Series, een verticale oven, ontwikkeld en gebouwd samen met NTS, vorig jaar november gelanceerd op de Semicon Europe show in München. Deze ovens worden geleverd aan de markten in Europa, Taiwan, Zuid-Korea, de VS én – toch ook nog – China. ‘Maar we zijn wel voorzichtiger geworden. Onze software is tegenwoordig volledig encrypted.’
Geldschieter en eigenaar van Tempress is de Nederlandse deep tech venture capital investor Innovation Industries dat in het voorjaar van 2020 de onderneming overnam van de Amerikaanse Amtech Group.
