Samsung start massaproductie 10 nanometer DRAM met immersie

Samsung Electronics heeft aangegeven als eerste bedrijf te starten met de massaproductie van haar 10-nanometer (nm) class, 8-gigabit (Gb) DDR4 (double-data-rate-4) DRAM chips. De populariteit van de DDR4 neemt snel toe en wordt de meest geproduceerde geheugenchip voor personal computers en IT networks. Door de productiestap van Samsung zal de toepassing van de chip alleen maar verder verbreden. Het opschalen van de productie van de DDR4 vergde het oplossen van een aantal technologische problemen. Voor de productie zal gebruik worden gemaakt van de reeds beschikbare ArF (argon fluoride) immersion lithography. Er wordt dus geen gebruik gemaakt van EUV (extreme ultra violet) equipment.