Lam Research Corp introduceerde in de laatste week van maart ‘s werelds eerste productiegeoriënteerde pulsed laser deposition (PLD) gereedschap om de volgende generatie MEMS-gebaseerde microfoons en radiofrequentiefilters (RF-filters) mogelijk te maken. Lam’s Pulsus PLD-systeem levert aluminium scandium nitride (AlScN) films met het hoogste scandiumgehalte dat beschikbaar is. Dit maakt de weg vrij voor geavanceerde consumenten- en automotive devices met verbeterde prestaties, mogelijkheden en functionaliteit. Pulsus wordt nu geleverd aan geselecteerde fabrikanten van speciale apparaten.
Link magazine special 2024: The Dutch High-Tech Industry and the European Ecosystem: stronger together. Read this edition digital.
De doorbraak volgt op de overname twee jaar geleden van de Nederlandse fabrikant van gepulseerde laserdepositieapparatuur Solmates. Het Pulsus PLD-systeem is een upgrade van technologie die is ontwikkeld door het in Enschede gevestigde bedrijf, dat nu op de markt wordt gebracht als Lam Research Nederland.
De toevoeging van Pulsus PLD aan het Lam-portfolio breidt Lam’s uitgebreide assortiment van depositie-, ets- en single-wafer clean-producten gericht op speciale technologieën verder uit en toont Lam’s voortdurende innovatie in deze sector. Lam maakte gebruik van diepgaande expertise in speciale halfgeleidertechnologieën, bewezen capaciteiten op het gebied van depositie en een strategische samenwerking met CEA-Leti om deze baanbrekende oplossing naar klanten te brengen op ons productiebewezen 2300® platform’, aldus Chris Carter, group vice president en general manager van de Customer Support Business Group bij Lam Research. Deze nieuwe depositietechniek kan helpen om apparaatontwerpen vooruit te helpen en product roadmaps in de specialty markt te versnellen’.
RF-filters spelen een cruciale rol in de prestaties van 5G, WiFi 6 en WiFi 6E door het aantal banden dat een netwerk aankan te vergroten en tegelijkertijd de ervaring van elke gebruiker te verbeteren. MEMS-microfoons worden gewaardeerd om hun hoge signaal-ruisverhouding waardoor ze zelfs gedempte geluiden nauwkeurig kunnen opvangen – essentieel voor voice control functies en ruisonderdrukking in apparaten die geschikt zijn voor 5G. Pulsus gebruikt een baanbrekende technologie om films van hoge kwaliteit af te zetten die RF-filters en MEMS-microfoons optimaliseren. Hoe hoger het scandiumgehalte in de film, hoe beter de prestaties van de apparaten. Lam Research Corporation is een wereldwijde leverancier van innovatieve apparatuur en diensten voor waferproductie voor de halfgeleiderindustrie.
