Omdat het toch wel ‘een mijlpaal’ is, werd de nieuwe cleanroom van Nearfield Instruments in Rotterdam op 19 november officieel geopend. ‘We wilden wel even vieren dat we nu echt met de productie zijn begonnen’, zegt Roland van Vliet van de hightech onderneming.
Roland van Vliet
Nearfield is een spin-off van TNO. Het bedrijf ontwikkelt en assembleert – sinds 2016 zelfstandig – meetapparatuur voor de halfgeleiderindustrie. De apparaten kunnen op nanoniveau 3D-scans maken van het chipproductieproces en zo vaststellen of de gemaakte chips aan alle eisen voldoet. Het bedrijf verhuisde eerder dit jaar naar een locatie aan de Vareseweg in Rotterdam. In het pand werd – in krap een half jaar tijd – een state-of-the-art cleanroom gebouwd. Van Vliet: ‘De machines die we in de cleanroom assembleren, moeten extreem schoon worden opgeleverd. Daarom hebben we ervoor gekozen een cleanroom met ISO 5-specificaties te laten bouwen. Daarmee kunnen we onze klanten garanderen dat de machines ook echt schoon worden opgeleverd.’ Zoals het er nu naar uitziet, zal Nearfield Instruments de eerste machine begin volgend jaar kunnen leveren. ‘Het gaat om een grote chipmaker in het buitenland. Later dat jaar zal een tweede machine gereed zijn.’
De cleanroom in Rotterdam is gebouwd door Highcare in Tilburg, een onderneming gespecialiseerd in het bouwen van cleanrooms. ‘We bouwen gemiddeld tussen de vier en acht cleanrooms per jaar’, aldus Bas de Bruijn van het bedrijf. Maar, zo zegt hij, het wordt zelden zo’n ISO 5-cleanroom. ‘Die zijn vanwege de eisen een stuk duurder dan een cleanroom ISO 6, 7 of 8. Bij ISO 5 heb je het over een ruimte die extreem schoon moet worden gehouden. Honderd stofdeeltjes per volume-eenheid in plaats van de tien miljoen stofdeeltjes normaal gesproken. Het personeel heeft niet alleen beschermende kleding aan, maar krijgt bijvoorbeeld ook nog een training over hoe ze zich moeten bewegen.’
De cleanroom in Rotterdam is elf bij twaalf meter en drie meter hoog. Het is in feite een ‘doos’, die helemaal in het pand is aangelegd. De Bruijn: ‘Via een volledige wand wordt zogenoemde Hepa-gefilterde lucht de ruimte ingeblazen en aan de andere kant weer afgevangen, in totaal 40.000 kubieke meter lucht per uur. Het geheel is zo aangelegd, dat de operators niets ervan merken. Met apparatuur en machines houden we de luchtvochtigheid en de temperatuur in de ruimte ook continu op vaste waarden. Zo kunnen we de juiste kwaliteit garanderen.’
