ASML heeft het Taiwanese Hermes Microvision (HMI) overgenomen. De metrologische e-beam-inspectietools die HMI ontwikkelt en bouwt, spelen – als gevolg van de almaar dichtere chipstructuren – een steeds grotere rol in het bijsturen van het lithografische proces. ASML beschikt over de kennis om de machines van HMI sneller en kostenefficiënter te maken.
