ASM International N.V. heeft vandaag het A400™ DUO verticale ovensysteem geïntroduceerd met dubbele reactorkamers voor waferformaten van 200 mm en kleiner. De DUAL Boat-reactoren van het systeem produceren een hoge doorvoercapaciteit, waardoor het gebruik van de reactor tot een zeer hoog percentage wordt verhoogd, terwijl tegelijkertijd een lage capex wordt gegarandeerd.
“De nieuwe A400™ DUO-reactor zorgt ervoor dat ASM zijn positie als leider in de markt voor Power, Analog, RF en MEMS-toepassingen zal uitbreiden”, aldus Hichem M’Saad, ASM Executive Vice President, Global Products. “Toen de productie van 200 mm begon te heropleven, gedreven door groei in bijvoorbeeld IoT devices, werd het duidelijk dat onze bestaande oventechnologie nog steeds de beste resultaten in de industrie kon bereiken. De combinatie van onze technologie met de nieuwste innovaties op het gebied van robotica en besturing heeft de productiemogelijkheden van het systeem aanzienlijk verbeterd om de huidige productiedoelen te bereiken.
De nieuwe DUO is compatibel met de originele A400™, zodat bestaande procesrecepten eenvoudig kunnen worden overgezet, waardoor de systeemhelling versnelt. Het systeem heeft zich verzekerd van een productiekwalificatie van meerdere klanten in Europa, de Verenigde Staten en Azië, waaronder verschillende leiders in de productie van stroom-, RF- en MEMS-apparaten. Tot op heden zijn er meer dan 20 reactoren verscheept, met gezonde vooruitzichten voor verdere groei.
Het originele A400™ verticale ovensysteem van ASM heeft een bewezen staat van dienst van meer dan 1000 reactoren die wereldwijd naar klanten werden verscheept en meer dan 25 jaar volwassenheid in de halfgeleiderproductie. Het nieuwe systeem is gemoderniseerd om een verscheidenheid aan groeiende markten te ondersteunen, waaronder siliciumvermogen, breedbandige halfgeleidervermogen, analoge, RF- en MEMS-apparaten. Met zijn vernieuwde besturingssysteem, software met een intuïtieve grafische gebruikersinterface, voorspellend onderhoud door middel van geavanceerde besturingsdiagnose, nieuwe robot en plug-and-play-installatie, kunnen klanten rekenen op de A400™ DUO voor een grotere betrouwbaarheid met een productie-uitgang die een betere herhaalbaarheid, productiviteit en tijdgebruik oplevert.
Net als zijn voorganger biedt de A400™ DUO een uitgebreid portfolio aan procestoepassingen, waaronder processen voor chemische afzetting onder lage druk van chemische dampen (LPCVD), zoals doped silicon- en siliciumnitridefilms, diffusieprocessen zoals natte oxidatie en gloeiprocessen.
