Vandaag heeft Nearfield Instruments B.V. de eerste levering van QUADRA aangekondigd, het eerste generatie High-Throughput Scanning Probe Metrology-systeem voor 5 nm nodes & beyond. De eerste QUADRA is verzonden naar een niet-vermelde klant en het toonde een succesvolle werking met multi-head operation, measuring dense structures with high aspect-ratios on advanced DRAM and Logic device wafers.
De unieke architectuur van QUADRA biedt parallelle onafhankelijke multi-head-bediening en de mogelijkheid om extreem snel en nauwkeurig te positioneren en uit te lijnen. Dit geeft QUADRA een 100-voudig doorvoervoordeel ten opzichte van andere geautomatiseerde AFM-metrologietools met één sonde die bedoeld zijn voor in-line meettoepassingen. De hoge bemonsteringsfrequentie van QUADRA stelt klanten in staat om in-line procesbewaking uit te voeren en procesvariaties van partij tot partij, wafer-to-wafer en intra-wafer te bepalen.
QUADRA bevat ook een nieuwe unieke beeldvormingsmodus genaamd Feed-Forward Trajectory Planner TM (FFTP). Deze stellen QUADRA in staat om niet-destructieve metingen op het apparaat uit te voeren op dichte structuren met hoge aspectverhoudingen voor zowel geheugen (1z en hoger) als logische apparaten (3 nm en hoger).
Nearfield Instruments is van plan om het aantal scankoppen te vergroten en zijn 3D-beeldvormingsmogelijkheden voor toekomstige productgeneraties uit te breiden om in lijn te blijven met de steeds veranderende product roadmapvereisten van chipmakers.
Sadeghian voegt eraan toe: “Ik wil al onze medewerkers bedanken die deze eerste verzending mogelijk hebben gemaakt, met hun harde werk en toewijding. Ook wil ik al onze ontwikkelingspartners en leveranciers bedanken die ons tijdens onze reis hebben geholpen. Ten slotte was de steun en inzet van onze aandeelhouders van cruciaal belang. Ze gaven ons de juiste expertise en hielpen ons momentum te creëren en deze geweldige mijlpaal te realiseren. “
Thema: Hoe wordt een bedrijf duurzaam en winstgevend? Lees Link magazine digitaal
Nearfield Instruments B.V. (NFI), werd opgericht in januari 2016. NFI is een bedrijf voor halfgeleider-metrologie-apparatuur dat baanbrekende metrologische oplossingen voor procesbesturing ontwikkelt en levert voor de wereldwijde geavanceerde productie-industrie voor halfgeleider-IC’s.
QUADRA, het eerste product van NFI, is een High-Throughput Scanning Probe Metrology-systeem (HT-SPM) dat een geheel nieuwe benadering van in-line 3D-procesbesturingsmetrologie mogelijk maakt. QUADRA biedt unieke, Ångstrom-niveau nauwkeurige en niet-destructieve 3D-metrologie met een hoge aspectverhouding, zelfs op de meest uitdagende kritische lagen, zoals Gate- en FinFET-structuren.
