De Eindhovense startup Invisix heeft een seed-investering van €20 miljoen opgehaald voor de ontwikkeling van een nieuwe generatie meetapparatuur voor de halfgeleiderindustrie. De onderneming wil met soft x-ray-technologie een van de grootste uitdagingen in de chipproductie oplossen: het inspecteren van steeds complexere chipstructuren zonder deze te beschadigen.
Aan de investeringsronde namen onder meer Hitachi Ventures, Transition Ventures, imec.xpand, Doosan Investment en een grote, niet nader genoemde chipfabrikant deel. Met het kapitaal wil Invisix zijn team uitbreiden, de ontwikkeling van zijn eerste commerciële systeem versnellen en klantdemonstraties verzorgen vanuit een nieuwe cleanroomfaciliteit in Eindhoven.
Chips worden onzichtbaar voor bestaande meetapparatuur
Waar de chipindustrie jarenlang profiteerde van steeds nauwkeurigere optische meetmethoden, lopen deze technieken nu tegen fundamentele grenzen aan. Nieuwe generaties logica- en geheugenchips bestaan uit complexe driedimensionale structuren die zich onder het oppervlak bevinden en steeds moeilijker zichtbaar zijn met traditionele optische systemen.
Dat vormt een groeiend probleem voor chipfabrikanten. Elke productiestap moet worden gecontroleerd voordat de volgende laag wordt aangebracht. Zonder nauwkeurige metingen neemt het risico op defecten toe, met lagere opbrengsten en hogere productiekosten als gevolg.
Juist nu de wereldwijde vraag naar AI-chips explosief groeit, neemt ook de behoefte aan nieuwe inspectietechnologieën toe.
Soft x-rays kijken in de chip
Invisix werd opgericht door voormalig ASML-medewerkers Christina Porter en Sietse van der Post. Hun oplossing maakt gebruik van zogenoemde soft x-rays, een technologie gebaseerd op High Harmonic Generation (HHG). Daarbij worden edelgasatomen met krachtige lasers aangeslagen waardoor zij kortgolvig röntgenlicht uitzenden.
In combinatie met eigen reconstructie-algoritmen en machine learning kan het systeem een gedetailleerd driedimensionaal beeld opbouwen van interne chipstructuren. Het grote voordeel is dat de metingen niet-destructief zijn en geschikt worden gemaakt voor gebruik in high-volume productieomgevingen.
Meer dan tien jaar ASML-ontwikkeling
De technologie achter Invisix is niet uit het niets ontstaan. Het bedrijf heeft een omvangrijk technologiepakket gelicenseerd uit onderzoek dat meer dan tien jaar binnen ASML is ontwikkeld. Ook verschillende specialisten uit het voormalige soft x-ray-programma van ASML hebben zich inmiddels bij de startup aangesloten.
Daarnaast werkt Invisix samen met professor Anne L’Huillier van de Universiteit van Lund, die in 2023 de Nobelprijs voor Natuurkunde ontving voor haar baanbrekende onderzoek naar de fysica achter High Harmonic Generation.
De technologie werd al eerder gevalideerd in samenwerking met Intel en imec. Daarbij slaagde Invisix erin om cruciale kenmerken van de nieuwste generatie gate-all-around transistoren in kaart te brengen, een van de meest complexe meetuitdagingen binnen de huidige chipindustrie.
Strategische positie in AI-keten
Volgens CEO Christina Porter wordt chipproductie steeds meer een kwestie van kunnen meten wat voorheen onzichtbaar was. “Chipfabrikanten kunnen niet bouwen wat ze niet kunnen zien. Naarmate chips steeds meer driedimensionaal worden, is een nieuwe generatie meetapparatuur nodig die diep in deze structuren kan kijken zonder ze te beschadigen.”
De investeerders zien vooral kansen doordat Invisix inspeelt op een groeiend knelpunt binnen de halfgeleiderindustrie. Naarmate AI-toepassingen vragen om krachtigere chips en kleinere productienodes, wordt metrologie steeds bepalender voor productopbrengst, productiesnelheid en concurrentiekracht.
Met de investering zet Eindhoven opnieuw een stap als broedplaats voor deeptech-startups die voortkomen uit het ecosysteem rond ASML, imec en de Nederlandse halfgeleiderindustrie.
