Het Leuvense onderzoekscentrum imec is gestart met de installatie van ’s werelds meest geavanceerde lithografiesysteem: de High-NA EUV-machine van ASML. Daarmee zet Europa een belangrijke stap richting het zogeheten ångström-tijdperk – de volgende fase in chipminiaturisatie, die essentieel is voor de verdere doorbraak van AI.
De machine wordt de komende periode opgebouwd in de cleanroom van imec en vormt straks het hart van een nieuwe generatie chipontwikkeling. Waar chips vandaag al op nanometerschaal worden geproduceerd, mikt de sector op structuren op ångström-niveau – nog eens tien keer kleiner, op de schaal van atomen.
Nieuwe standaard voor chipproductie
Lithografie is daarbij de sleuteltechnologie. Met extreem ultraviolet licht (EUV) worden miljarden patronen tegelijk op silicium ‘geprint’. De nieuwe High-NA-technologie verhoogt de numerieke apertuur (NA) van het optisch systeem, waardoor nog fijnere details mogelijk worden. Dat is nodig om de grenzen van miniaturisatie verder te verleggen.
ASML ontwikkelde deze nieuwe generatie machines de afgelopen jaren samen met imec in Veldhoven. Nu verhuist de technologie naar Leuven, waar ze in een industriële R&D-omgeving verder wordt getest en geoptimaliseerd.
Van lab naar ecosysteem
De installatie markeert meer dan een technologische mijlpaal. In de cleanroom van imec werken chipfabrikanten, machinebouwers en materiaalleveranciers wereldwijd samen aan nieuwe processen. Met de komst van High-NA EUV krijgen zij directe toegang tot de meest geavanceerde lithografietechnologie die beschikbaar is.
Volgens imec-CEO Luc Van den hove luidt de installatie een nieuw hoofdstuk in: “High-NA EUV zal essentieel zijn om de chipindustrie het ångström-tijdperk in te leiden en de AI-toepassingen van de toekomst mogelijk te maken.”
Ook Christophe Fouquet onderstreept het belang: “Samen versnellen we de ontwikkeling van High-NA EUV voor de volgende generaties geheugen- en rekenchips.”
Strategisch belang voor Europa
Leuven wordt de eerste locatie in Europa waar deze technologie in een productielijnomgeving beschikbaar komt. De installatie is onderdeel van een bredere samenwerking tussen imec, ASML en Europese partners, ondersteund door overheden en het Europese Chips-programma.
Daarmee verstevigt Europa zijn positie in de wereldwijde halfgeleiderketen – een sector die steeds crucialer wordt voor economische groei, technologische autonomie en veiligheid.
