Cleanroom Pfeiffer Vacuum klaar voor de toekomst

Een cleanroom bouwen volgens strenge eisen met verschillende zones in een zo kort mogelijke tijd. Het kan, zo blijkt uit het verhaal van Peter Spierenburg en Pierre Knoben van Pfeiffer Vacuum over hun uitbreiding in Culemborg. Maar het vereiste wel een bijzonder staaltje plannen en samenwerken met ProCleanroom en andere leveranciers.

Full-service provider ProCleanroom maakt het verschil

‘Werken voor een klant als ASML betekent dat je extra diepgang zoekt in de uitvoering’, zegt Spierenburg, service manager Benelux bij Pfeiffer Vacuum, dat een speciale heliumlekdetector voor gebruik aan de nieuwe ASML EUV-machines produceert. ‘De behoefte aan lekdetectors en de service ervan groeide enorm. Dat onderhoud is zo specifiek dat we daarvoor extra capaciteit moeten inrichten. Dat zagen we natuurlijk aankomen, dus zijn we ongeveer drie jaar geleden begonnen met de specificaties voor de bouw van een geavanceerde en grotere cleanroom, helemaal volgens de eisen van ASML.’ Het betreft een compleet nieuwe ISO 6/7 cleanroom van 350 vierkante meter.

Plannen en samenwerken

Een bijzonder staaltje plannen en samenwerken met ProCleanroom volgde. ‘In februari 2024 hebben we het eerste bouwoverleg met alle betrokkenen gevoerd’, vertelt Spierenburg. Samen met zijn collega Pierre Knoben, manager Finance en HR, en operational director van ProCleanroom Mike Ferguson blikt hij terug.

‘De cleanroom is ontwikkeld en ingericht volgens het “fit for purpose”-principe’

De afhankelijkheden en volgordelijkheden luisterden heel nauw. Om in de gewenste korte tijd de bouw te kunnen realiseren, moest alles tot in de kleinste details op elkaar zijn afgestemd. Van e-installateur, aannemer, leverancier van de gietvloer, het luchtbehandelingssysteem, cleanroomkraanbanen tot het brandmeldsysteem. En dat nog buiten het bouwen en inrichten van de cleanroom zelf. Spierenburg: ‘Tijdens die eerste bijeenkomst werd de complexiteit van de planning heel duidelijk, maar zagen we ook hoe iedereen welwillend en voortvarend te werk ging. Ook onderling reageerden partijen heel pragmatisch op elkaars vragen.’

Strakke regie

De lekdetector is in nauwe samenwerking met ASML ontwikkeld. In de EUV-machine worden twee gescheiden processen uitgevoerd: Source en Scanner. In elk proces wordt weliswaar dezelfde lekdetector ingezet, maar steeds dedicated voor één specifiek proces. In de cleanroom moeten die strikt gescheiden blijven. Van elkaar én van andere producten, om kruisbesmetting te voorkomen. Daarom zijn in de cleanroom twee gescheiden werkstromen ingericht. In de bestaande cleanroom, in 2014 ook door ProCleanroom geleverd, was daarvoor niet genoeg ruimte, vandaar de uitbreiding. De aankoop van de benodigde bouwgrond liet langer op zich wachten dan gehoopt, maar die vertraging werd opgevangen door de snelle doorloop van de bouw. En dat schrijven Knoben en Spierenburg volledig toe aan de strakke regie van ProCleanroom.

Rendement belangrijke factor

Bij de start van dit project vroeg Pfeiffer Vacuum meerdere offertes op en werd grondig onderzoek gedaan, met rendement als belangrijke factor. Ferguson licht dit toe: ‘Dat zit hem onder andere in de manier van luchtbehandeling in deze cleanroom. Door het toepassen van een plenumplafond kunnen we tot 95 procent van de lucht hergebruiken en daardoor efficiënt conditioneren. Dat resulteert in een zeer laag energieverbruik, wat een hoog rendement oplevert en een comfortabel werkklimaat voor de medewerkers.’

ProCleanroom heeft meerdere cleanroomconcepten in portefeuille en kan het aanbod aanpassen aan de vraag. ‘We hanteren geen standaardoplossing voor alle cleanroomvragen, maar stellen op basis van het volledige scala een maatwerkoplossing samen’, aldus Ferguson. ‘Zo wordt de cleanroom ontwikkeld en ingericht volgens het “fit for purpose”-principe. Juist dat maakt het verschil.’ Spierenburg ervaart dit als belangrijke meerwaarde: ‘Alles is open en bespreekbaar, wíj hebben een uitdaging en die lossen we sámen op. Daarbij hoort ook het meedenken over de hele lay-out.’ Ferguson ziet dat als vanzelfsprekend. ‘Er zijn vaak meerdere oplossingen mogelijk, maar dit is nodig om echt de best passende oplossing te krijgen.’ Knoben stelt dat juist die flexibiliteit ervoor zorgde dat het project zo goed is verlopen. ‘De kernfocus is een passende oplossing, ook voor de toekomst.’

Voortschrijdend inzicht

80 procent van de werkruimtes in de cleanroom zijn operationeel gescheiden en ingericht om tot ASML Grade 2 te kunnen reinigen. Voor het onderhoud worden de heliumlekdetectors bij binnenkomst gedemonteerd, gereinigd, onderhouden en weer gemonteerd, allemaal in dezelfde cleanroom. Na het onderhoud moeten de heliumlekdetectors 24 uur ontgassen en worden ze in twee stappen getest. Allereerst op de functionele fabrieksspecificaties en daarna volgt een RGA-test (restgasanalyse) met behulp van het Pfeiffer Omnigrade RGA-systeem om de Grade 2 moleculaire cleanliness te verifiëren. De hiervoor benodigde testsystemen heeft Pfeiffer zelf ontwikkeld en geproduceerd. Voortschrijdend inzicht maakte dat nog wat wijzigingen nodig waren. ‘De warmtelast van de nieuwe tools in de cleanroom bleek hoger dan oorspronkelijk voorzien, waardoor de temperatuurlimiet werd overschreden’, vertelt Ferguson. ‘In overleg met Pfeiffer hebben we daarom tijdens het bouwproces nog aanpassingen doorgevoerd.’

Langdurige klantrelaties

Van de leidingen tot de verlichting in de inspectieruimte, geen onderdeel bleef onbesproken. ProCleanroom zorgde voor de volledige invulling: van technisch advies en installatie tot validatie, inrichting en verbruiksartikelen. ‘Er zijn speciale uva-inspectielampen geleverd om in de verduisterde ruimtes tools te inspecteren met uv- en wit licht. Op die manier is eventuele contaminatie te detecteren tijdens het reinigings- en verpakkingsproces volgens de ASML Grade 2-reinheidsspecificaties.’

Daarin is ProCleanroom daarin vrij uniek, vervolgt Ferguson. ‘Wij behoren tot de weinige cleanroomleveranciers ter wereld die zelf cleanrooms ontwikkelen, bouwen, inrichten, valideren én de verbruiksartikelen leveren. Dat leidt tot langdurige klantrelaties, omdat klanten die integrale aanpak weten te waarderen.’

Realistisch budget

Knoben was verantwoordelijk voor de financiële verantwoording en is ook op dat vlak te spreken. ‘Op het totale budget hadden we een afwijking van niet meer dan 1 procent. We hebben dus heel realistisch gebudgetteerd, het voorbereidende werk heeft duidelijk zijn vruchten afgeworpen. En we hebben de vinger goed aan de pols gehouden.’ Ferguson: ‘Je moet starten met wat je nodig hebt en daar het budget op afstemmen, andersom is geen goed idee. Er spelen zo veel factoren mee: naast functionaliteit, afwerking en zaken als cleanroomkraanbanen en meubilair telt ook de voorbereiding op de toekomst.’

Spierenburg en Knoben zijn unaniem in hun oordeel: ‘De betrokkenheid en inspanning die ProCleanroom ook tijdens de bouwperiode toonde, is veel groter dan we van een leverancier verwacht zouden hebben. Ook na het zetten van de handtekening hebben ze er alles aan gedaan om voor ons de beste oplossing te krijgen en die zo soepel mogelijk te realiseren.’ Ferguson countert dat compliment direct: ‘De klant is een groot deel van het succes van een project.’ Dankzij de goede voorbereiding waren er tijdens de bouwperiode nauwelijks verrassingen en leverde de complexiteit – veel verschillende aannemers in relatief korte tijd in dezelfde ruimte aan het werk – geen problemen op. ‘Alle neuzen stonden dezelfde kant op’, besluit Spierenburg, ‘de onderlinge flexibiliteit was heel groot door de uitstekende communicatie.’

350 vierkante meter ISO-6/7 PanelBloc cleanroom

• ISO-klasse 6/7.
• Volledig ontworpen voor gescheiden productstromen.
• Uitgerust met twee kraanbanen en één los hijspunt.
• Volledig gekoeld plenum voor optimale luchtbehandeling.
• Inrichting met high-end rvs meubilair.
• Functionele belettering in ruimtes ten behoeve van werkprocessen.